책소개
"현대 반도체 기술은 끊임없이 발전하고 있으며, 그 중요성은 점점 더 커지고 있습니다.
이러한 기술 혁신을 실현하기 위해서는 반도체 소자의 물리적, 전기적 특성을 깊이 있게 이해하고 이를 바탕으로 정확한 시뮬레이션을 수행할 수 있는 도구가 필수적입니다.
본 책은 이러한 필요성을 충족시키기 위해, Sentaurus TCAD 시뮬레이션을 활용하여 반도체 소자의 특성을 분석하고 시뮬레이션하는 방법에 대해 자세히 설명하고자 합니다.
Sentaurus TCAD는 다양한 반도체 소자의 물리적 특성과 동작을 시뮬레이션할 수 있는 강력한 도구로, 연구 및 산업 현장에서 널리 사용되고 있습니다. 그러나, 이 도구의 사용법을 처음 접하는 이들에게는 다소 복잡하고 까다롭게 느껴질 수 있습니다.
본 책은 이러한 어려움을 해소하기 위해, 기본적인 설정부터 시뮬레이션 수행까지 단계별로 상세히 설명하며, 실제로 수행한 다양한 시뮬레이션 결과에 대해 함께 학습할 수 있도록 구성하였습니다.
저자는 반도체 소자의 시뮬레이션을 위한 TCAD 도구들의 활용법을 연구하고 교육해 온 경험을 바탕으로, 이 책을 통해 독자들이 Sentaurus TCAD를 효과적으로 사용할 수 있도록 돕고자 합니다.
이 책이 반도체 소자 연구자 및 엔지니어들에게 실질적인 도움이 되기를 바라며, 독자 여러분들이 이 책을 통해 TCAD 시뮬레이션의 세계를 깊이 탐구하고, 더 나아가 반도체 기술의 발전에 기여할 수 있기를 기대합니다."
저자소개
"서울대학교 전기정보공학부 교수로 서울대학교, 전자공학과에서 학사 및 석사 학위를 취득하고 미국 캘리포니아대학교 버클리 캠퍼스에서 박사학위를 취득했다.
모토롤라 및 퀄컴에서 연구원으로 근무했으며, KAIST에서 교수를 역임했다.
저서(공저)로는 ?NANOCAD와 함께 하는 반도체 소자?(대영사, 2005), ?현대반도체소자공학? (한빛아카데미, 2013), ?3차원 낸드 플래시 메모리의 동작 및 신뢰성?(이페이지,2024), 그리고 ?반도체 소자 연습문제 및 풀이?(이페이지, 2024) 등이 있다.
2023년 인테그라 반도체를 창업 했으며 3차원 낸드 플래시 메모리의 문턱전압 분포시뮬레이터 (Integra-NANDSim) 개발, 모델링 & 컨설팅 서비스, 반도체 교육 등 대표이사로서 여러 방면에서 활발히 활동 중이다.
저자는 반도체 기술의 발전과 혁신에 꾸준히 기여해 왔으며, 특히 Sentaurus TCAD를 활용한 반도체 소자 시뮬레이션 분야에서 높은 전문성을 바탕으로 학문적 성과를 쌓아가고 있다.
그는 다양한 국제 학술지에 논문을 게재하고, 국제 학회에서 연구 성과를 발표하며 반도체 기술 발전에 중요한 역할을 했다. 앞으로도 Sentaurus TCAD를 활용한 반도체 소자 기술의 시뮬레이션과 분석 방법을 더욱 심화 연구하여, 차세대 반도체 기술의 혁신을 선도하고자 한다. 이를 통해 반도체 기술의 발전을 촉진하고, 대한민국이 반도체 분야에서 세계적인 리더로 자리매김하는 데 기여할 계획이다."
목차
"Chapter. 1
Sentaurus Workbench 시작 및 Project 실행하기
Chapter. 2
Multiple Experiment 만들기
Chapter. 3
Sentaurus Structure Editor 시작하기
Chapter. 4
간단한 2D Device Structure 만들기
Chapter. 5
Sentaurus Workbench에서 Device Structure 만들기
Chapter. 6
3D Device Structure 만들기
Chapter. 7
Sentaurus Device의 기초
Chapter. 8
Sentaurus Workbench에서 Device 사용하기
Chapter. 9
표를 IRDS 활용한 FinFET 소자 구현 및 시뮬레이션
Chapter. 10
3D NAND Flash Memory 동작 시뮬레이션"
