Ã¥¼Ò°³
ÀÌ Ã¥Àº ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°Áö¿Í Å×½ºÆ®ÀÇ ÀÔ¹®¼ÀÔ´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿¡ ÀÔ¹®ÇÏ·Á´Â Çлýµé¿¡°Ô´Â ¹æÇâÀ» Á¦½ÃÇÏ´Â Áöħ¼ÀÇ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ °Ô µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÆÐÅ°Áö¿Í Å×½ºÆ® °ü·Ã ¾÷¹«¿¡ Á¾»çÇÏ´Â ºÐµé°ú À¯°ü ¾÷¹«¸¦ ÇÏ°í °è½Å ºÐ µé¿¡°Ô´Â ÀÌÇصµ¸¦ Çâ»ó½ÃÄѵ帮°Ô µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ³ª¾Æ°¡ ÆÐÅ°Áö, Å×½ºÆ®ÀÇ Àåºñ¿Í ¼ÒÀ縦 ¸¸µå´Â ºÐµé¿¡°Ôµµ ÀÌ Ã¥ÀÇ Áö½ÄµéÀÌ ÇØ ´ç ¾÷¹«ÀÇ È¿À²À» ³ôÀÌ´Â µ¥ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ̶ó »ý°¢µË´Ï´Ù.
Á¦1Àå¿¡¼´Â Å×½ºÆ® Àåºñ¿Í ÇÁ·Î¼¼½º, ´ë·«ÀûÀÎ Å×½ºÆ® Ç׸ñ¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÇÏ¿´°í, Á¦2Àå¿¡¼´Â ÆÐÅ°ÁöÀÇ Á¤ÀÇ¿Í ¿ªÇÒ, ±â¼ú °³¹ß Æ®·»µå, ±â¼ú °³¹ß ÇÁ·Î¼¼½º µîÀ» ¼³ ¸íÇÏ¿´½À´Ï´Ù. Á¦3Àå¿¡¼´Â ÆÐÅ°ÁöÀÇ Á¾·ù¸¦ ºÐ·ùÇÏ°í, °¢ Á¾·ùº° Ư¡, Àå´ÜÁ¡ µîÀ» ±â¼úÇÏ¿´½À´Ï´Ù. Á¦4Àå¿¡¼´Â ÆÐÅ°Áö ¼³°è¿Í Çؼ®À» ¼³¸íÇÏ¿´´Âµ¥, ÆÐÅ°Áö ¼³°è¿Í Ĩ ¼³°èÀÇ Â÷ÀÌÁ¡À» ¾Ë¸®°í, ¼³°è ¹× °øÁ¤ È¿À²À» ³ôÀ̱â À§ÇÑ ±¸Á¶, ¿, Àü±â Çؼ® ³»¿ë°ú °úÁ¤ À» ¼Ò°³ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. Á¦5ÀåÀº ÆÐÅ°Áö °øÁ¤À» ¼³¸íÇÏ´Â ÀåÀε¥, Á¾·ùº° °øÁ¤ ¼ø¼¿Í °¢ °øÁ¤µéÀÇ ÁøÇà¹æ ¹ý°ú Àǹ̸¦ ¼Ò°³ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. Á¦6Àå¿¡¼´Â ÆÐÅ°Áö °øÁ¤ ÁøÇàÀ» À§Çؼ »ç¿ëµÇ´Â Àç·áµéÀ» ¼Ò°³ÇÏ¿´°í, Á¦7Àå¿¡¼´Â Ç°Áú°ú ½Å·Ú¼ºÀÇ ÀÇ¹Ì ¹× ½Å·Ú¼º Æò°¡ Ç׸ñµéÀÇ ÁøÇà ¹æ¹ý°ú ¸ñÀûÀ» ¼³¸íÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
ÀúÀÚ¼Ò°³
ÀúÀÚ : ¼¹Î¼®
ÀúÀÚ : ¼¹Î¼®
¼¹Î¼® ¹Ú»ç´Â Çѱ¹°úÇбâ¼ú¿ø Àç·á°øÇаú¿¡¼ Çлç,¼®»ç ÇÐÀ§¸¦ ÃëµæÇÏ¿´°í, ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°Áö¸¦ À§ÇÑ ÀüÇØ µµ±Ý °øÁ¤ ¹× Àç·á ¿¬±¸·Î ¹Ú»çÇÐÀ§¸¦ ÃëµæÇÏ¿´´Ù.
ÀÌÈÄ SKÇÏÀ̴нº ¹ÝµµÃ¼¿¡¼ SRAM & Flash °øÁ¤ °³¹ß¿¡ Âü¿©ÇÏ¿´´Ù°¡ 2003³âºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°Áö °³¹ß ºÎ¼¿¡¼ RDL, Flip Chip, Fan in WLCSP, TSV(HBM, 3DS, Wide IO)µîÀÇ Wafer Level Package °³¹ßÀ» ÁÖ°üÇÏ¿´´Ù.
¸ñÂ÷
01 ¹ÝµµÃ¼
Å×½ºÆ®ÀÇ ÀÌÇØ
01. ¹ÝµµÃ¼ ÈÄ°øÁ¤ ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 5
02. Å×½ºÆ®ÀÇ Á¾·ù¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 8
03. ¿þÀÌÆÛ Å×½ºÆ® ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 10
EPM ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 13
¿þÀÌÆÛ ¹øÀΡ¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 13
Å×½ºÆ® ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 14
¸®Æä¾î¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 15
04. ÆÐÅ°Áö Å×½ºÆ® ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 16
TDBI¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 17
Å×½ºÆ® ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 18
¿Ü°ü °Ë»ç¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 18
02 ¹ÝµµÃ¼
ÆÐÅ°ÁöÀÇ Á¤ÀÇ¿Í ¿ªÇÒ
01. ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°ÁöÀÇ Á¤ÀÇ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 25
02. ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°ÁöÀÇ ¿ªÇÒ ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 26
03. ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°ÁöÀÇ °³¹ß Æ®·»µå¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 28
04. ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°Áö °³¹ß °úÁ¤ ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 31
03 ¹ÝµµÃ¼
ÆÐÅ°ÁöÀÇ Á¾·ù
01. ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°ÁöÀÇ ºÐ·ù¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 39
02. ÄÁº¥¼Å³Î ÆÐÅ°Áö¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤41
Çöó½ºÆ½ ÆÐÅ°Áö - ¸®µåÇÁ·¹ÀÓ Å¸ÀÔ ÆÐÅ°Áö¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤41
Çöó½ºÆ½ ÆÐÅ°Áö - ¼ºê½ºÆ®·¹ÀÌÆ® ŸÀÔ ÆÐÅ°Áö ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 43
¼¼¶ó¹Í ÆÐÅ°Áö ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 46
03. ¿þÀÌÆÛ ·¹º§ ÆÐÅ°Áö¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 47
¿þÀÌÆÛ ·¹º§ ÆÐÅ°Áö ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 47
Àç¹è¼±¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 56
Çø³ Ĩ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 58
04. ÀûÃþ ÆÐÅ°Áö¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 66
ÆÐÅ°Áö ÀûÃþ ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 67
Ĩ ÀûÃþ - Chip Stack with Wire Bonding¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 70
½Ç¸®ÄÜ °üÅë Àü±Ø - Chip Stack with TSV ¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 73
05. ½Ã½ºÅÛ ÀÎ ÆÐÅ°Áö¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤¡¤ 86
04 ¹ÝµµÃ¼
ÆÐÅ°Áö ¼³°è¿Í Çؼ®
01. ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅ°Áö ¼³°è ¡¤